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MOCVD2 MOCVD2

  • SR2000
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PECVD_1 PECVD_2

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ICP-RIE

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  • SiO2,ITO

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  • ޥ饤ʡMA-20

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PL_VIS1

  • Ar+ 졼
  • SPEX1702/04ʬ
  • Ge PINǥƥ
  • ĻΰŻܴ
  • 30cmʬ+CCD
  • եȥ󥫥ƥ
  • Liq-Heѥ饤å
  • 10Kൡ
  • 50cmʬ+CCD쥤+PMT
  • He-Cd졼
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  • Hall¬

Measurement system
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Last-modified: 2019-05-21 () 10:04:01 (1288d)